真空多晶硅试验炉
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更新时间:2010-01-01 00:00:00
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详细介绍
我公司研发生产的微型真空多晶硅熔炼、提纯、定向凝固一体炉,为企业和科研机构在多晶硅的研发工作提高了极大的便利。轻巧灵便的操作系统让试验过程方便安全,更重要是能极大节约试验成本。
技术参数:
01、加热设备:小中频感应电源,30kw/380v、,使用功率约25kw。
02、装料容量:0.5-2.0kg。
03、坩埚材质:99%石墨。
04、设备真空:2x-2真空系统、高温石英真空管。
05、定向系统:自主研发精密步进系统、液晶触摸控制、精密滚珠光杆、精密滚珠丝杠。
06、定向凝固:0.0001mm/min—0.01mm/min(可任意调整)。
07、水冷系统:1500l不锈钢水箱、水泵、集散水器。
08、安全防护:不锈钢安全保护屏、高温石英玻璃、护目玻璃、万向底座(选配)。
09、操作系统:石英管罩盖板水冷摇臂、水冷摇臂装置。
10、保温材料:高纯多晶莫来石纤维。