真空多晶硅试验炉

我公司研发生产的微型真空多晶硅熔炼、提纯、定向凝固一体炉，为企业和科研机构在多晶硅的研发工作提高了极大的便利。轻巧灵便的操作系统让试验过程方便安全，更重要是能极大节约试验成本。

技术参数：

01、加热设备：小中频感应电源，30kw/380v、，使用功率约25kw。

02、装料容量：0.5-2.0kg。

03、坩埚材质：99%石墨。

04、设备真空：2x-2真空系统、高温石英真空管。

05、定向系统：自主研发精密步进系统、液晶触摸控制、精密滚珠光杆、精密滚珠丝杠。

06、定向凝固：0.0001mm/min—0.01mm/min（可任意调整）。

07、水冷系统：1500l不锈钢水箱、水泵、集散水器。

08、安全防护：不锈钢安全保护屏、高温石英玻璃、护目玻璃、万向底座（选配）。

09、操作系统：石英管罩盖板水冷摇臂、水冷摇臂装置。

10、保温材料：高纯多晶莫来石纤维。